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IMTEC Accumeg 半導體納米 兆聲波清洗槽

  • 產品型號:UO1200PMCA 發生器
  • 更新時間:2026-07-07

簡要描述:IMTEC Accumeg 半導體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發生器,Accumeg™系統主要用于半導體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(頻率為975 kHz或730 kHz)進行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設備提供石英和PVDF兩種槽體材質,具備高功率密度和溫度控制能力(最高達70°C或130°C)......

產品詳情
品牌其他品牌應用領域環保,化工,能源,電子/電池,綜合
White Knight® 品牌下的 Accumeg™ 兆聲波清洗槽及系統的產品信息、規格、應用領域。以下是關于該產品的詳細總結:


一、產品概述:Accumeg™ 兆聲波清洗槽及系統

該系統由 IMTEC 提供,屬于半導體晶圓和電子行業的納米制造設備,旨在提供優良的濕法工藝清洗解決方案。產品線包括石英和 PVDF 材質的清洗槽,適用于不同潔凈度和化學兼容性的需求。

IMTEC Accumeg 半導體納米 兆聲波清洗槽

二、核心特性與技術規格

1. 主要特性

  • 超長保修:提供長達 **個月的全面保修。

  • 兼容性:支持最大 300 毫米及更大的晶圓基板,提供卡帶式與無卡帶式設計。

  • 維護便捷:配備現場可更換的換能器陣列,便于維修和保養。

  • 高性能:具備高功率密度,工作溫度可達 70°C。


2. 詳細規格參數

  • 兆聲波頻率:提供 975 kHz 和 730 kHz(±25 kHz)兩種頻率選項。

  • 槽體材質:可選石英、PVDF 或 PFA。

  • 換能器組件:采用 316L 電解拋光或 PFA/PTFE 涂層不銹鋼板,電纜為 25 歐姆聚四氟乙烯護套(長 5 米)。

  • 溫度范圍:邊界層系統最高工作溫度為 130°C,直接式系統為 65°C。

  • 電氣標準:工作電壓為 208-230 VAC(單相),符合 CE 指令并通過第三方認證。


三、應用領域與行業解決方案

1. 濕法工藝解決方案

  • 系統類別:包括 Wet Benches(濕法臺)、Single Wafer(單晶圓)、FOUP/FOSB Cleaner(晶圓傳送盒清洗)及 Marangoni Dryer(馬蘭戈尼干燥器)。

  • 組件支持:涉及 Genius Gather(天才匯聚)、Kaiqiao(凱喬)、White Knight、SEBA 等組件。

2. 廣泛的應用場景

  • 納米技術:3D 納米雕刻、無掩模微加工、大距離無縫納米圖案化。

  • 新能源與電子:薄膜太陽能電池、ITO(氧化銦錫)處理。

  • 前沿科技:生物成像、生物醫學設備涂層、量子技術。


IMTEC Accumeg 半導體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發生器,Accumeg™系統主要用于半導體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(頻率為975 kHz或730 kHz)進行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設備提供石英和PVDF兩種槽體材質,具備高功率密度和溫度控制能力(最高達70°C或130°C)......

IMTEC Accumeg 半導體納米 兆聲波清洗槽 UO1200PMCA 發生器,Accumeg™系統主要用于半導體晶圓(最大支持300毫米及以上)和電子元件的高精度清洗。其核心功能是利用兆聲波技術(頻率為975 kHz或730 kHz)進行濕法工藝處理,有效去除微小顆粒污染物。該設備提供石英和PVDF兩種槽體材質,具備高功率密度和溫度控制能力(最高達70°C或130°C)......

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