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Kokusai 高頻超聲波清洗機 晶圓/光刻掩模用

  • 產品型號:UO1200PMCX
  • 更新時間:2026-07-07

簡要描述:Kokusai 高頻超聲波清洗機 晶圓/光刻掩模用 UO1200PMCX,該產品主要用于半導體制造領域的高精度清洗,適用行業為半導體產業。其具體用途包括半導體晶圓、光刻掩模、裸片最終清洗以及半導體制造設備治具的清洗,旨在滿足微縮工藝下的低損傷、高潔凈度清洗需求。

產品詳情
品牌其他品牌應用領域環保,化工,能源,電子/電池,綜合
這是一款由“株式會社 國際電気セミコンダクターサービス"(Kokusai Electric Semiconductor Service Inc.)制造的高頻超聲波清洗設備,產品型號為 UO1200PMCX該產品主打“微音波®"(Mikrosonic)技術,專為半導體制造中對精度和潔凈度要求非常高的清洗環節設計。以下是其核心特點與規格介紹:

Kokusai 高頻超聲波清洗機 晶圓/光刻掩模用


核心優勢

  • 低損傷、高精度清洗:通過高精度的輸出功率反饋控制,即使在低功率下也能保持穩定,有效清洗的同時大幅降低對精密半導體器件的損傷。

  • 高效率與緊湊設計:相比以往機型,能耗降低了 15%,同時體積和重量均減少了 30%,更加節能且節省空間。

  • 頻率固定:采用固定頻率振蕩,確保石英槽的超聲波透過率始終保持一致,清洗效果穩定可靠。

  • 遠程控制:支持遠程控制功能,便于集成到自動化生產線中進行操作。


主要用途

這款設備主要應用于半導體產業鏈中的關鍵清洗步驟,具體包括:
  • 半導體晶圓清洗

  • 光刻掩模版清洗

  • 裸片(Die)的最終清洗

  • 半導體制造設備治具清洗


產品規格

UO1200PMCX 系列提供兩種固定頻率選擇,詳細參數如下表所示
項目規格
類型UO1200PMCX
振蕩模式單頻
額定功率1200瓦
輸出調節范圍3 至 1200瓦
可選頻率730 kHz 或 1 MHz
遠程控制支持
電源單相 AC200V~230V ±10%,50/60Hz
外形尺寸360mm (寬) × 150mm (高) × 480mm (深)
重量14kg 以下

該產品符合 CE、FCC(需另購噪聲濾波器)及 Semi-F47 等相關標準。


Kokusai 高頻超聲波清洗機 晶圓/光刻掩模用 UO1200PMCX,該產品主要用于半導體制造領域的高精度清洗,適用行業為半導體產業。其具體用途包括半導體晶圓、光刻掩模、裸片最終清洗以及半導體制造設備治具的清洗,旨在滿足微縮工藝下的低損傷、高潔凈度清洗需求。

Kokusai 高頻超聲波清洗機 晶圓/光刻掩模用 UO1200PMCX,該產品主要用于半導體制造領域的高精度清洗,適用行業為半導體產業。其具體用途包括半導體晶圓、光刻掩模、裸片最終清洗以及半導體制造設備治具的清洗,旨在滿足微縮工藝下的低損傷、高潔凈度清洗需求。

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