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產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：Torin G8
更新時(shí)間：2026-07-08簡要描述：Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設(shè)備 Torin G8 ，該設(shè)備用于高精度測量半導(dǎo)體光掩模基板的厚度與兩面平面度，采用非接觸式激光傳感技術(shù)，適用于半導(dǎo)體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業(yè)，確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
這是制造商為日本土井精密ラップ株式會(huì)社（Doi Precision Lapping Co., Ltd.）生產(chǎn)的一款光掩模基板檢查裝置（Flatness Tester for Photomask），主要用于高精度測量大型光掩模基板的厚度和平面度。
型號：Torin G8 和 Torin G10（兩種尺寸規(guī)格）
核心功能：將光掩模基板垂直立起（無應(yīng)力狀態(tài)），使用非接觸式半導(dǎo)體激光傳感器，高精度測量基板的厚度和平面度。
應(yīng)用場景：面向半導(dǎo)體或顯示面板制造中，大尺寸石英光掩模基板的表面質(zhì)量檢測。
測量方式：基板垂直放置，利用兩組對向的激光傳感器（分別針對鏡面和粗糙表面）進(jìn)行測量。
高精度軸系：測量軸采用空氣軸承，長期保持高精度；主基座和滑軌使用印度黑花崗巖（Micro Granite®），穩(wěn)定性優(yōu)異。
計(jì)算機(jī)控制：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，速度和定位由電腦控制，可靈活設(shè)定。
最大測量能力：G8 為 1400×1600mm，G10 達(dá) 2000×2100mm。
| 項(xiàng)目 | G8 | G10 |
|---|---|---|
| 最大測量尺寸 | Y1400 × 1600mm | Y2000 × 2100mm |
| 測量厚度范圍 | 5～20mm | 5～20mm |
| 鏡面?zhèn)鞲衅鳎⊿ensor 1） | CHR E（范圍5～25mm，分辨率0.8μm） | 同左 |
| 粗糙面?zhèn)鞲衅鳎⊿ensor 2） | LK-G85（范圍28mm，分辨率0.2μm） | 同左 |
| 設(shè)備尺寸（W×D×H） | 2900×1500×2500mm | 3600×1600×3500mm |
| 重量 | 8噸 | 12噸 |
Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設(shè)備 Torin G8 ，該設(shè)備用于高精度測量半導(dǎo)體光掩模基板的厚度與兩面平面度，采用非接觸式激光傳感技術(shù)，適用于半導(dǎo)體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業(yè)，確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。
Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設(shè)備 Torin G8 ，該設(shè)備用于高精度測量半導(dǎo)體光掩模基板的厚度與兩面平面度，采用非接觸式激光傳感技術(shù)，適用于半導(dǎo)體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業(yè)，確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。
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