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Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統

  • 產品型號:TS-140(TP25)/TS-150(TP25)
  • 更新時間:2026-07-08

簡要描述:Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主動式微振動控制系統,依托反向振動抵消原理削弱 0.7~100Hz 頻段震動,可自動找平、監測減振工況,能適配重心偏高、載荷不均的設備。多用于半導體檢測、精密光學實驗、顯微觀測、激光加工、精密計量場景,適配科研院所、半導體工廠、光學實驗室、精密電子質檢行業,

產品詳情
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域環保,化工,能源,電子/電池,綜合

臺式主動式微振動控制系統

適用于0.7~100Hz三維空間的隔振,是一種主動式隔振臺,能對產生的振動瞬時施加反相位振動以抵消振動。與空氣彈簧式隔振臺相比,在固有頻率為1~2Hz的低頻區域也能發揮出色的隔振性能。

Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統


  • 安裝設備后,初始水平調整將自動完成。因此,即使設備存在偏載荷,也能在保持水平的狀態下使用。

  • 與重心高時易發生振蕩( hunting )的空氣彈簧式不同,本產品使用線圈彈簧,因此也可搭載重心較高的設備。

  • 通過連接主機背面BNC連接器至您持有的示波器,可以確認垂直及水平方向的隔振狀態。

  • 可通過前面板菜單顯示屏確認垂直及水平方向的隔振狀態。


外形圖

  • 可通過外部連續開關(選配)進行主動隔振的ON/OFF切換。

  • 若安裝地點剛性不足且振幅較大,可能導致隔振性能下降或無法隔振。為防止此類情況,我們準備了高剛性專用架臺。

  • 高阻尼高剛性專用架臺(h-L-TS)

Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統

注意

  • 本產品為瑞士 The Table Stable Ltd. 制造,僅限在亞洲地區(印度及澳大利亞除外)使用的情況下銷售。

  • 因產品為重物,搬運費需另行報價。


規格

型號TS-140 (TP25) / TS-150 (TP25)TS-300 (TP25) / TS-300LT (TP25)
系統構成控制器與隔振單元一體型
主動控制范圍約0.7Hz~100Hz
使用環境調整增益及偏移自動調整
初始水平調整自動調整
移動時鎖定自動鎖定機構
隔振狀態確認顯示于主機正面監控器(8軸振動檢測狀態可通過主機背面BNC連接器連接外部設備)
供電電源電壓100~230V AC±10% 50~60Hz
功耗通常10W、最大20W(70VA)
使用溫度范圍5℃~40℃
使用濕度范圍10~90%(5~30℃)?10~60%(30~40℃)
使用場所室內
使用海拔最高2000m
使用搭載盤型號不帶后綴:鋁板,做白色陽極氧化處理(不可做噴漆加工)型號后綴 TP25:帶磁性不銹鋼板材、啞光黑漆處理;內嵌 M6 規格螺絲孔(螺紋深度 6mm),螺絲規格 M6 25×25mm(有效螺紋深度 6mm)


型號A × B [mm]H [mm]可搭載重量 [N]質量 [kg]
TS-140500×60084980(約100kgf)均等29
TS-140/TP25500×60086980(約100kgf)均等35
TS-150400×45078980(約100kgf)均等18
TS-150/TP25400×45082980(約100kgf)均等23
TS-300LT600×800121882(約90kgf)均等55
TS-300LT/TP25600×800124882(約90kgf)均等65
TS-300600×8001212,255(約230kgf)均等60
TS-300/TP25600×8001242,255(約230kgf)均等70

高阻尼高剛性專用架臺 h-L-TS

Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統

  • 備有臺式主動式微振動控制系統(TS)專用架臺。





Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主動式微振動控制系統,依托反向振動抵消原理削弱 0.7~100Hz 頻段震動,可自動找平、監測減振工況,能適配重心偏高、載荷不均的設備。多用于半導體檢測、精密光學實驗、顯微觀測、激光加工、精密計量場景,適配科研院所、半導體工廠、光學實驗室、精密電子質檢行業,

Table Stable半導體用三維主動式隔振臺系統TS-140(TP25)/TS-150(TP25),TS 系列桌面主動式微振動控制系統,依托反向振動抵消原理削弱 0.7~100Hz 頻段震動,可自動找平、監測減振工況,能適配重心偏高、載荷不均的設備。多用于半導體檢測、精密光學實驗、顯微觀測、激光加工、精密計量場景,適配科研院所、半導體工廠、光學實驗室、精密電子質檢行業,

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