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TORAY 半導(dǎo)體/液晶制造用 氧化鋯氧氣濃度計(jì)

  • 產(chǎn)品型號:OXYGEN ANALYZER LC-450A
  • 更新時(shí)間:2026-07-15

簡要描述:TORAY 半導(dǎo)體/液晶制造用 氧化鋯氧氣濃度計(jì) LC-450A 是一款高性能氧化鋯式氧濃度計(jì),用于精確測量從0.1ppm到100%的寬范圍氧濃度。其核心優(yōu)勢在于高耐用性傳感器和緊湊設(shè)計(jì),主要適用于對氣體純度要求非常高的半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域。

產(chǎn)品詳情
品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域綜合
這款 LC-450A 是由 DSensing(隸屬于東麗工程 DSolutions)推出的一款高性能氧化鋯式氧濃度計(jì)它最大的特點(diǎn)是測量范圍極廣,一臺設(shè)備即可覆蓋從微量(ppm級)到純氧(100%)的測量,且通過特殊工藝提升了傳感器的耐用性,非常適合半導(dǎo)體、液晶制造等精密工業(yè)環(huán)境使用。


TORAY 半導(dǎo)體/液晶制造用 氧化鋯氧氣濃度計(jì)

1. 核心優(yōu)勢與特點(diǎn)

  • 超寬量程測量

    • 能夠在一臺設(shè)備上實(shí)現(xiàn)從 0.1ppm 到 100vol% O? 的連續(xù)測量。

    • 支持自動量程切換,無需人工頻繁調(diào)整。

  • 高耐用性傳感器

    • 搭載了公司自有的超小型氧化鋯傳感器。

    • 對傳感器進(jìn)行了特殊加工,相比傳統(tǒng)產(chǎn)品,其耐用性得到了顯著提升。

  • 寬電壓電源支持

    • 支持 AC100V~240V 的寬范圍電源輸入,適應(yīng)不同地區(qū)的電力標(biāo)準(zhǔn)(也有DC電源規(guī)格可選)。

  • 緊湊設(shè)計(jì)

    • 機(jī)身小巧(深度僅300mm),節(jié)省安裝空間,易于集成到各類裝置中。


2. 關(guān)鍵技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目參數(shù)/說明
測量原理氧化鋯式 (Zirconia)
測量范圍0.1ppm ~ 100vol% O?
采樣方式內(nèi)置泵連續(xù)吸引式
氣體流量1,000~2,000mL/min
響應(yīng)速度30秒以內(nèi) (90%響應(yīng))
輸出信號模擬輸出 (4-20mA等)、RS-232C 串行通信
電源功耗AC100-240V, 50VA (穩(wěn)定時(shí)35VA)
尺寸重量210(W)×134(H)×300(D) mm / 約6kg


3. 功能與接口

  • 顯示:4位數(shù)字顯示濃度。

  • 報(bào)警功能:提供 HH(高高位)、H(高位)、L(低位)、LL(低位)報(bào)警,可任選2點(diǎn)設(shè)置。

  • 自我診斷:具備完的善的自診斷功能,可檢測傳感器溫度、爐溫、CPU異常等多種故障。

  • 合規(guī)性:符合 CE、UKCA 安全標(biāo)準(zhǔn)以及 RoHS 環(huán)保指令。


4. 選配與防護(hù)

為了保護(hù)傳感器并確保測量精度,該設(shè)備提供多種過濾器選配:
  • 活性炭過濾器:吸附微量有機(jī)物和可燃?xì)怏w,防止傳感器內(nèi)燃燒。

  • 棉質(zhì)過濾器:防止灰塵和固體顆粒進(jìn)入。

  • Si 過濾器:吸附含硅氣體,防止傳感器劣化。


5. 適用場景

  • 半導(dǎo)體制造裝置

  • 液晶顯示面板制造裝置

  • 各類需要監(jiān)控氧濃度的工業(yè)爐或手套箱


總結(jié):是一款集寬量程、高耐用性、小型化于一體的工業(yè)級氧分析儀,特別適合對氣體純度要求非常高且環(huán)境復(fù)雜的精密制造行業(yè)。


TORAY 半導(dǎo)體/液晶制造用 氧化鋯氧氣濃度計(jì) LC-450A 是一款高性能氧化鋯式氧濃度計(jì),用于精確測量從0.1ppm到100%的寬范圍氧濃度。其核心優(yōu)勢在于高耐用性傳感器和緊湊設(shè)計(jì),主要適用于對氣體純度要求非常高的半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域。

TORAY 半導(dǎo)體/液晶制造用 氧化鋯氧氣濃度計(jì) LC-450A 是一款高性能氧化鋯式氧濃度計(jì),用于精確測量從0.1ppm到100%的寬范圍氧濃度。其核心優(yōu)勢在于高耐用性傳感器和緊湊設(shè)計(jì),主要適用于對氣體純度要求非常高的半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域。




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