歡迎光臨深圳九州工業(yè)品有限公司！
咨詢電話
13691609757
13691609757
products
產(chǎn)品分類產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號：
更新時(shí)間：2026-06-10簡要描述：ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器，該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體制造中的晶圓清洗和聲化學(xué)處理。
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
高效清洗能力：顆粒去除效率（PRE）≥ 98%，可去除小至 19 nm 的顆粒，且能覆蓋晶圓的每一個部分。
均勻的聲場分布：采用徑向均勻場設(shè)計(jì)，確保晶圓表面受力均勻。
耐用且維護(hù)成本低：
平均無的故的障時(shí)間（MTBF）≥ 209,000 小時(shí)。
無預(yù)防性維護(hù)（No PM），無耗材。
300mm 晶圓的工藝流體消耗量低于 1 lpm。
先進(jìn)的監(jiān)測系統(tǒng)：配備 IMPulse™ 系統(tǒng)，可實(shí)時(shí)監(jiān)測聲劑量、反射功率、溫度和電氣參數(shù)，確保工藝一致性。
材料與化學(xué)兼容性：
采用單晶藍(lán)寶石諧振器，具有零顆粒添加、無表面凹坑的優(yōu)點(diǎn)。
也有不銹鋼版本適用于溶劑應(yīng)用。
ProSys 自 1996 年以來一直是兆聲波增強(qiáng)處理領(lǐng)域的全球領(lǐng)的導(dǎo)的者，專注于精密射頻（RF）電子產(chǎn)品。
ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器，該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體制造中的晶圓清洗和聲化學(xué)處理。
ProSys儀器MegPie V3兆聲波Megasonic換能器，該產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體制造中的晶圓清洗和聲化學(xué)處理。
您的位置：
在線咨詢
返回頂部