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產品型號:MSMO032090E / 13407-091
更新時間:2026-07-25簡要描述:SONOSYS 超聲波發生器 2MHz+4MHz 兆聲 噴嘴 MSMO032090E / 13407-091,該產品是SONOSYS®兆聲波霧化系統,通過高頻聲波將液體霧化成約3微米的微細顆粒。主要用于半導體晶圓、平板顯示器及太陽能電池等領域的精密噴霧、化學品分配和微清洗,確保高精度與無顆粒污染的工藝要求
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源,電子/電池,綜合 |

兆聲波發生器 (Megasonic Generator Slim Line): 這是系統的主要部分,負責產生高頻電信號。它采用19英寸機架式設計,非常節省空間(僅3/4 U高度),適合集成到自動化生產線中。
兆聲波霧化器 (Megasonic Atomizer): 這是執行部件,內部裝有特殊的壓電陶瓷換能器(PZT)。它接收發生器的信號,將電能轉化為高頻聲波,從而將液體打散成微小的霧滴。
工作原理: 霧化器產生高頻聲波(約3 MHz),傳輸到液體中,利用聲波能量將液體霧化成極細小的微粒。
主要應用:
精密噴霧: 適用于需要精確控制液體噴灑的場景。
化學品分配: 例如將化學試劑精準噴灑到半導體晶圓、平板顯示器或太陽能電池上。
微清洗: 利用高頻聲波能量去除微小顆粒(結合文檔中的清洗槽示意圖)。
| 類別 | 關鍵指標 |
|---|---|
| 工作頻率 | 2.95 MHz - 3.05 MHz (兆聲波頻段) |
| 功率調節 | 發生器支持 20% - 100% 輸出功率調整 |
| 霧化顆粒 | 介質液滴直徑約 3μm (微米),非常細膩 |
| 電源要求 | 110VAC 或 230VAC,50-60 Hz |
| 物理尺寸 | 發生器:197.6 x 177 x 329 mm (寬x高x深) |
精準控制: 能夠產生約3微米的極細霧滴,適合高精度工藝。
模塊化設計: 發生器有不同功率版本(60W, 120W, 180W 甚至更高),可以根據你的實際需求進行選配。
耐用性強: 霧化器接觸液體的部分采用高純PTFE(聚四氟乙烯)和石英玻璃材質,耐腐蝕,不易被化學試劑污染。
非接觸式: 相比傳統噴嘴,這種超聲波霧化方式可以避免噴嘴堵塞的問題。
SONOSYS 超聲波發生器 2MHz+4MHz 兆聲 噴嘴 MSMO032090E / 13407-091,該產品是SONOSYS®兆聲波霧化系統,通過高頻聲波將液體霧化成約3微米的微細顆粒。主要用于半導體晶圓、平板顯示器及太陽能電池等領域的精密噴霧、化學品分配和微清洗,確保高精度與無顆粒污染的工藝要求。
SONOSYS 超聲波發生器 2MHz+4MHz 兆聲 噴嘴 MSMO032090E / 13407-091,該產品是SONOSYS®兆聲波霧化系統,通過高頻聲波將液體霧化成約3微米的微細顆粒。主要用于半導體晶圓、平板顯示器及太陽能電池等領域的精密噴霧、化學品分配和微清洗,確保高精度與無顆粒污染的工藝要求。