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MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用

  • 產品型號:MiX-330 / MiX-520
  • 更新時間:2026-07-21

簡要描述:MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用 MiX系列是一款高的端的主動式隔振系統,專為精密儀器提供穩定平臺。它通過平衡隔振與制振性能,提升測量和加工的效率與精度。主要應用于計測計量、半導體制造及精密加工等領域。

產品詳情
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域化工,電子/電池,綜合,半導體

MiX系列是明立精機推出的高的端的主動式隔振系統,專為高精度儀器打造。它最大的亮點在于解決了傳統隔振系統難以同時兼顧“隔離外部振動"和“抑制自身晃動"的難題。通過其水平位移抑制機構水平剛性強化的設計,MiX系列實現了兩大核心優勢:

  • 卓的越的隔振性能:有效隔離來自地面和周邊環境的振動,例如將10Hz的振動衰減至-40dB,對1Hz起的低頻微振動(如人員走動)也有顯著抑制效果。

  • 壓倒性的制振性能:大幅縮短了“穩定時間"(Settling Time)。這意味著儀器在完成移動等動作后,能更快地恢復穩定,進入可測量或加工的狀態,從而提升整體生產效率。

MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用


主要應用領域

  • 計測?計量機器

  • 半導體制造?精密加工


型號選擇:三種類型,按需定制

為了滿足不同場景的需求,MiX系列提供了三種配置。
型號類型性能側重適用場景
S型隔振性能側重隔離外部環境振動干擾
M型平衡性能在隔振與制振之間取得平衡
H型制振性能側重快速抑制儀器自身動作產生的晃動
請注意:MiX-330和MiX-520這兩個型號不提供S型配置。


詳細規格參數表

以下是MiX系列各型號的詳細規格。
項目MiX-330MiX-520MiX-650MiX-870MiX-1080
定盤尺寸 (mm)300 × 300500 × 200600 × 500800 × 7001000 × 800
有效載荷 (kg)50100200300500
外形尺寸 (mm)360 × 360560 × 260660 × 560860 × 7601060 × 860
高度 (mm)700700700700700
水平固有頻率 (Hz)0.5~1.00.5~1.00.5~1.00.5~1.00.5~1.0
垂直固有頻率 (Hz)1.0~2.01.0~2.01.0~2.01.0~2.01.0~2.0


其他特點

  • 標配振動監測App:系統內置振動環境監測應用,可以記錄振動歷史,并直觀地顯示VC等級,方便用戶隨時掌握環境狀態。



MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用 MiX系列是一款高的端的主動式隔振系統,專為精密儀器提供穩定平臺。它通過平衡隔振與制振性能,提升測量和加工的效率與精度。主要應用于計測計量、半導體制造及精密加工等領域。

MEIRITZ 主動隔振防振臺 精密測量半導體用 MiX系列是一款高的端的主動式隔振系統,專為精密儀器提供穩定平臺。它通過平衡隔振與制振性能,提升測量和加工的效率與精度。主要應用于計測計量、半導體制造及精密加工等領域。

 
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