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更新時間：2026-05-28簡要描述：日本長野計器半導體氣體壓力開關CB14-173，該設備專為半導體制造過程中使用的各類氣體設計，具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
小型輕量化：專為設備緊湊空間設計，便于直接安裝在裝置上。
易操作性：壓力設定調節簡便，外部可調。
穩定性：微動開關結構設計避免了額外應力，確保制程控制穩定。
制造環境：在 Class 100 潔凈臺或潔凈室中清洗、組裝，全程無油無水處理。
表面處理：隔膜型氣體接觸部件經過電解拋光（Electropolished）。
包裝：成品采用防塵聚乙烯袋密封包裝。
合規聲明：產品本體不貼附“無油無水"標簽，但出廠默認符合該標準。
壓力范圍：涵蓋真空（-0.1 MPa）至高壓（2.1 MPa）多種量程。
破壞壓力：根據量程不同，最高可達 25 MPa。
死區（Deadband）：最大控制在 0.042 MPa 以內，確保響應精度。
接液材質：SUS316 或 SUS316L（波紋管或隔膜型）。
接口形式：1/8 NPT，1/4 VCR（9/16-18UNF 內/外螺紋）。
額定值：125V/250V AC，15A。
絕緣性能：端子與外殼間耐壓 1500V AC/1 分鐘，絕緣電阻 ≥100MΩ。
觸點數量：1 組觸點（1-contact）。
工作/存儲溫度：-5℃ 至 40℃。
泄漏率：氦氣泄漏率 ≤ 1.01×10?? Pa·m3/s（極低泄漏，保證氣密性）。
外殼防護：室內開啟型。
推薦范圍：為保證高精度與長壽命，建議設定在滿量程（F.S.）的 30% 至 65% 之間。
上下限計算：
上限 = (最的低的壓力值 + 死區) 至 90% 最大量程。
下限 = 最的低的壓力值 至 (90% 最大量程 - 死區)。
復合量規（Compound gauge）需按特定公式計算。
型號配置：需指定型號代碼（Model Number），包括壓力范圍、接口類型等規格。
特殊標注：若無特定規格要求，用“X"表示。
防爆要求：嚴禁安裝在正常操作條件下可能引發點火或爆炸的裝置或大氣環境中（僅適用于非易燃易爆環境）。
操作規范：嚴禁破壞產品密封包裝，確保在潔凈環境下開封使用，避免污染制程氣體。
該 CB14 壓力開關針對半導體制造的嚴苛要求進行了優化，通過嚴格的潔凈度控制和材料選擇，確保了在敏感氣體環境下的安全與可靠運行。
日本長野計器半導體氣體壓力開關CB14-173，該設備專為半導體制造過程中使用的各類氣體設計，具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點。
日本長野計器半導體氣體壓力開關CB14-173，該設備專為半導體制造過程中使用的各類氣體設計，具有小型化、高潔凈度和高氣密性的特點。
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