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產品型號：H6-15
更新時間：2026-07-16簡要描述：Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂機，用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
| 品牌 | 其他品牌 |
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緊湊設計：專為在手套箱內安裝而優化。
先進控制：配備無線平板電腦和 Laurell Touch 過程控制軟件，支持實時交互和遠程操作。
高轉速：最高轉速可達 12,000 RPM（基于 ?100mm 硅片）。
大尺寸兼容：可處理最大 ?300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板。
卓的越的防護：采用專的利的迷宮式密封，保護電機和控制電子元件免受化學污染，并提供氮氣吹掃。
最大轉速：12,000 RPM
最大基板尺寸：?300mm 晶圓或 9" × 9" 基板
控制系統：無線平板電腦，搭載 Laurell Touch 軟件
電源要求：95 至 240VAC, 47/63HZ, ~300 瓦
氣體要求：60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮氣或潔凈干燥空氣 (CDA)
真空要求：25–28 英寸汞柱 (約 635–711mm Hg)
卡盤和適配器：提供多種標準和定制選項。
抗震安裝：提供抗震底座安裝選項。
高性能驅動：可實現最高 12,000 RPM 的轉速。
集成真空發生器：無活動部件，易于清潔。
排氣和排水選項：可根據需求定制。
晶圓對準工具：用于輕松將晶圓居中放置在真空卡盤上。
特氟龍外殼：適用于需要在高溫下進行化學處理的應用。
多重認證：通過 ETL、UL、CSA、CE 和 RoHS 認證。
安全聯鎖：具備 fool-proof 門聯鎖，在真空未啟動或蓋子打開時防止旋轉。
過程保護：具備“過程保護"功能，可防止在同一基板上意外重復運行相同過程。
涂覆 (Coating)
蝕刻 (Etching)
顯影 (Developing)
沖洗-干燥 (Rinsing-Drying)
清潔 (Cleaning)
Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂機，用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
Laurell 手套箱用緊湊型旋涂機 300mm晶圓用l H6-15 是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂機，用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行薄膜涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等精密工藝。
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