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產品型號：H6-23
更新時間：2026-07-16簡要描述：Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂儀 H6-23是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂儀，主要用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設計能耐受溶劑、強酸和強堿，確保在受控環境中實現精確的材料處理。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
緊湊設計：專為在手套箱內輕松安裝而設計。
先進控制：配備無線平板電腦和專屬的 Laurell Touch 過程控制軟件，支持實時交互和遠程操作。
高轉速：最高轉速可達 12,000 RPM（基于 ?100mm 硅片）。
安全密封：采用專的利的迷宮式密封，保護電機和控制電子元件免受化學污染，并可為工藝腔室提供氮氣吹掃。
基底尺寸：可容納最大 ?150mm 的晶圓和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板。
控制系統：標配無線平板控制器，也可選配 PC 端的 Spin 3000 軟件進行更復雜的過程管理和模擬。
外殼材質：通常采用 Laurell 自家的耐溶劑、耐強酸堿的共聚物混合物制成。也可選配 PTFE 或 Teflon® 外殼，適用于高溫化學工藝。
卡盤和適配器：提供多種標準和定制選項。
抗震安裝：具備抗震底座安裝功能。
內襯：標配可拆卸、可重復使用的 FEP Teflon® 工藝腔室內襯。
高性能驅動：可選配以實現更高轉速。
集成真空發生器：無運動部件，易于清潔。
排氣和排液選項：可根據需求定制。
晶圓對準工具：用于輕松將晶圓在真空卡盤上居中。
涂覆 (Coating)
蝕刻 (Etching)
顯影 (Developing)
沖洗干燥 (Rinsing-Drying)
清潔 (Cleaning
Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂儀 H6-23是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂儀，主要用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設計能耐受溶劑、強酸和強堿，確保在受控環境中實現精確的材料處理。
Laurell 150mm晶圓 手套箱專用緊湊型旋涂儀 H6-23是一款專為手套箱環境設計的緊湊型旋涂儀，主要用于在半導體、生物技術和納米技術行業進行涂覆、蝕刻、顯影、沖洗干燥和清潔等工藝。其設計能耐受溶劑、強酸和強堿，確保在受控環境中實現精確的材料處理。
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