products

產(chǎn)品分類

技術(shù)文章/ article

您的位置：首頁(yè) - 技術(shù)文章 - 半導(dǎo)體制造惰性氣體不純?cè)趺崔k？DAIICHINEKKEN EZY便攜式氧分儀為您護(hù)航

半導(dǎo)體制造惰性氣體不純?cè)趺崔k？DAIICHINEKKEN EZY便攜式氧分儀為您護(hù)航

更新時(shí)間：2026-07-23

瀏覽次數(shù)：50

返回列表

在半導(dǎo)體制造過程中，惰性氣體（如氮?dú)狻鍤猓┑募兌戎苯雨P(guān)系到芯片的良率與性能。即使是微量的氧氣污染，也可能導(dǎo)致晶圓表面氧化、薄膜沉積不均等致命缺陷。如何快速、精準(zhǔn)地排查氣體管線中的氧含量，成為保障生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵一環(huán)。

DAIICHINEKKEN（第一熱研）推出的EZY系列便攜式氧分儀，正是為解決這一行業(yè)痛點(diǎn)而生的專業(yè)設(shè)備。它如同一位精準(zhǔn)的“排的雷的兵"，能深入生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，快速定位并量化惰性氣體中的氧雜質(zhì)，為工藝穩(wěn)定保駕護(hù)航。

熱研3.png

核心技術(shù)：穩(wěn)定可靠的氧化鋯傳感器

EZY系列的核心在于其采用的穩(wěn)定化氧化鋯陶瓷傳感器。其工作原理基于氧濃差電池效應(yīng)：當(dāng)傳感器內(nèi)外兩側(cè)的氧氣分壓不同時(shí)，在高溫下會(huì)產(chǎn)生與氧濃度對(duì)數(shù)成正比的電動(dòng)勢(shì)。

通過精確控制傳感器溫度并測(cè)量該電動(dòng)勢(shì)，儀器即可計(jì)算出樣氣中的氧氣濃度。這種技術(shù)具有響應(yīng)快、壽命長(zhǎng)、抗腐蝕性氣體能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，特別適合半導(dǎo)體工廠復(fù)雜的氣體環(huán)境。

專為半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)的卓的越的性能

EZY系列并非通用型檢測(cè)儀，其多項(xiàng)設(shè)計(jì)都精準(zhǔn)契合了半導(dǎo)體制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求：

超寬測(cè)量范圍：覆蓋1ppm至100% O?，無(wú)論是檢測(cè)高純氮?dú)庵械奈⒘垦酰╬pm級(jí)），還是進(jìn)行空氣吹掃時(shí)的濃度監(jiān)測(cè)（百分比級(jí)），一臺(tái)設(shè)備即可勝任。
快速響應(yīng)：90%的響應(yīng)時(shí)間在10秒以內(nèi)，能夠迅速捕捉氣體純度的瞬時(shí)變化，極大提升了排查效率。
輕量化便攜設(shè)計(jì)：整機(jī)重量?jī)H4.3kg，相比前代產(chǎn)品大幅減重。緊湊的一體化設(shè)計(jì)集成了傳感器、控制單元、流量計(jì)和泵，工程師可以輕松攜帶至生產(chǎn)線任意位置進(jìn)行檢測(cè)。
堅(jiān)固耐用：傳感器采用多重保護(hù)結(jié)構(gòu)，對(duì)腐蝕性氣體有很強(qiáng)的抵抗力，并提供長(zhǎng)達(dá)2年的質(zhì)保，確保了在嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境下的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

靈活配置，滿足多樣化檢測(cè)需求

為了適應(yīng)不同的檢測(cè)場(chǎng)景，EZY系列提供了豐富的型號(hào)配置（EZY-A-B-C），用戶可根據(jù)實(shí)際需求靈活選擇：

內(nèi)置泵 (A)：

1：無(wú)內(nèi)置泵，適用于有正壓的樣氣。
2：帶內(nèi)置泵，可主動(dòng)吸入樣氣，適用于負(fù)壓或常壓環(huán)境，檢測(cè)更加靈活。

過濾器 (B)：

空白：無(wú)過濾器。
C：配備活性炭過濾器，可去除氣體中的有機(jī)雜質(zhì)。
R：配備活性炭過濾器+除霧器，能同時(shí)處理含濕氣和雜質(zhì)的復(fù)雜樣氣。

顏色 (C)：提供綠(G)、紅(R)、藍(lán)(B)三種顏色可選，便于不同部門或用途的區(qū)分管理。

智能輸出與集成能力

除了現(xiàn)場(chǎng)讀數(shù)，EZY系列還具備強(qiáng)的大的信號(hào)輸出功能，便于數(shù)據(jù)記錄與系統(tǒng)集成：

模擬輸出：提供隔離的4~20mA DC信號(hào)，也可選配0~1V/5V/10V DC輸出。
數(shù)字通信：標(biāo)配RS-232C接口，方便與電腦連接。
報(bào)警功能：內(nèi)置3個(gè)繼電器接點(diǎn)，可自由設(shè)定濃度高低報(bào)警、傳感器故障報(bào)警等，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化監(jiān)控。

更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域

除了半導(dǎo)體制造的惰性氣體管線，EZY系列便攜式氧分儀同樣適用于其他對(duì)氧氣濃度有嚴(yán)格要求的場(chǎng)合：

N?回流焊爐：監(jiān)測(cè)爐內(nèi)氧氣濃度，確保焊接質(zhì)量。
變壓吸附（PSA）：用于制氮或制氧過程中的純度分析。
廢氣（Exhaust Gas）監(jiān)測(cè)：確保排放氣體符合環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。

深圳九州工業(yè)品有限公司成立于2016年，坐落于年輕奮進(jìn)的深圳市，是一家工業(yè)品綜合服務(wù)商。主要包括機(jī)電設(shè)備、電子產(chǎn)品、儀器儀表、工業(yè)器材的銷售及其它國(guó)內(nèi)貿(mào)易、經(jīng)營(yíng)進(jìn)出口等業(yè)務(wù)。聯(lián)合國(guó)際名品牌搭建工業(yè)品供應(yīng)鏈，采用與 MRO分銷商結(jié)盟的方式，把零散采購(gòu)訂單集中處理，流程簡(jiǎn)化，提供一站式供應(yīng)服務(wù)。在美國(guó)、德國(guó)、日本、韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣建立采購(gòu)中心，一的流的專業(yè)各區(qū)域采購(gòu)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)顧問、銷售團(tuán)隊(duì)為各種領(lǐng)域提供各類高品質(zhì)的工業(yè)產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)的整合服務(wù)。通過與廠家建立快捷、有效的溝通，和眾多國(guó)外生產(chǎn)廠家建立了長(zhǎng)久合作伙伴關(guān)系。

极度另类freesex强行真实,波多野结衣 美乳人妻,欧美精品久久久久a片18的试看 ,久久精品国产亚洲7777