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什么是ESC高壓電源?

更新時間:2026-07-11      瀏覽次數:128
ESC是“靜電吸盤"(Electric Static Chuck)的縮寫。在半導體和液晶面板的制造過程中,需要將硅晶圓或玻璃基板在真空環境中牢固地吸附和固定。
  • 工作原理:傳統的機械夾具容易損傷晶圓,而真空吸盤在真空中無法使用。ESC技術通過在陶瓷板內嵌入電極,并施加高電壓產生靜電,從而將晶圓牢牢吸附在吸盤表面。

  • 電源的作用:ESC高壓電源就是為靜電吸盤提供所需高電壓的關鍵設備。

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