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更新時間：2026-06-10 
瀏覽次數：321Otsuka SM-100P 智能膜厚計 的出現，正是為了解決這一“兩難"局面。它基于反射分光法（光干涉法），將高精度的非破壞性測量帶入了手掌大小的便攜設備中，實現了 0.1μm 級別的測量能力。
光路 R1： 光線在薄膜的表面直接發生反射。
光路 R2： 光線穿透薄膜，在基板界面發生反射。
寬波長覆蓋： 設備采用 400 ~ 1000 nm 的寬波段光源。波長越寬，能夠捕捉到的干涉條紋細節就越豐富，對于極薄薄膜（<1μm）的識別能力就越強。
高重復性： 設備的測定重復性高達 2.1σ 0.01μm（針對1μm氧化膜）。這意味著在測量極薄涂層時，數據依然具有非常高的穩定性，消除了人為誤差。
無需檢量線： 傳統儀器往往需要針對不同材料制作校準曲線，而 SM-100P 直接基于物理光學原理運算，即使是新手也能直接獲得絕對準確的測量值。
小光斑設計： 測定光斑直徑在 φ1mm 以下，即使是在微小的芯片或狹窄區域也能精準定位。
數據可視化： 它不僅能顯示最終的厚度數值，還能直接展示反射率光譜和功率譜的生數據。這對于研發人員分析材料特性、驗證涂層均勻性具有非常高的參考價值。
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