
products
產品分類
更新時間:2026-05-25
瀏覽次數:13
核心應用:主要面向光刻膠涂布機(Coater)和顯影機(Developer)等設備,用于精確控制有機溶劑等各類藥液的通斷。
行業價值:作為半導體先進制程的支撐技術,這類閥門是確保晶圓制造過程純凈、穩定、可控的隱形基石。
無金屬結構:這是該型號最核心的優勢。通過徹的底的消除內部金屬部件,從根源上杜絕了金屬離子溶出污染藥液的風險,滿足半導體級流體控制的嚴苛標準。
優異的耐化學性:閥體與流體接觸的部分采用高性能非金屬材料,能夠耐受光刻工藝中使用的多種強腐蝕性有機溶劑。
氣動驅動:采用氣動操作方式,相比電動閥,其在易燃、易爆或高潔凈度要求的環境中更安全可靠,且易于實現自動化控制。
選型提示:
通路選擇:根據您的管路是需要簡單的通斷(2通)還是需要切換流向(3通)來選擇AMD或AMG系列。
尺寸考量:根據流量需求和安裝空間,從超小型到大型(部分大型號已停售)中選擇合適的規格。
特殊需求:除了無金屬的AMD-1M,CKD還提供PVC材質(AMD-1L)、高耐壓(AMD-1H)等多種變體,以適應更具體的應用環境。
在追求極的致的純凈的半導體制造領域,CKD AMD-1M系列無金屬藥液閥憑借其可靠的設計和卓的越的性能,為流體控制提供了堅實的保障。精準理解其產品特性與選型邏輯,是確保半導體工藝穩定性和產品良率的關鍵一步。
CONTACT
EMAIL:jiuzhou_hgx@163.com
掃碼微信聯系