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日本INTECS超高輝度檢查用照明裝置UIH-1H的使用說明書

更新時間:2026-05-20      瀏覽次數:47

日本株式會社インテックス生產的“超高輝度檢查用照明裝置"(型號:UIH-1H)的使用說明書。該設備主要用于半導體晶圓、掩模玻璃、光學部件等精密元件的表面瑕疵(如霧狀缺陷/ヘイズ)檢測。

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一、產品概述與用途


  • 產品名稱:超高輝度檢查用照明裝置(UIH-1H型)

  • 主要用途:用于檢查拋光晶圓(Polished Wafer)的表面霧狀缺陷(Haze)。它會在照射面上投射出三條檢查標記。

  • 產品特點:與TAM-1C型(亮度優先)不同,UIH-1H型側重于成像質量,同時保持高亮度。

  • 適用范圍:半導體晶圓、掩模玻璃、光學部件、透鏡等。


二、安全警示與注意事項


使用前必須遵守以下關鍵安全規則,以防觸電、火災或人身傷害:

  • 禁止濕手操作:防止觸電和設備故障。

  • 禁止直視光源:燈源發出超高亮度光線,直接窺視會損傷眼睛。

  • 禁止帶電拆卸:非專業維修人員不得分解、改造或修理,以防起火、觸電或燙傷。

  • 高溫警告:燈箱(Lamp House)及照射部分溫度極的高的,需避免接觸,并遠離易燃性氣體。

  • 電源要求:僅限使用 AC100V 電源,使用其他電壓會導致設備損壞。

  • 環境要求:避免在多塵、高溫、潮濕或有振動的環境中使用。


三、組裝與操作步驟


1. 開箱清單


  • 電源部 x1

  • 燈箱(Lamp House) x1

  • 電纜 x1

  • 長支柱(帶夾具) x1

  • 短支柱 x1

  • 六角扳手 x1

  • 保險絲(5A) x1(備用)


2. 組裝流程


  • 固定支柱:使用六角扳手將長支柱與電源部固定。

  • 安裝燈箱:將燈箱與長支柱進行固定。


3. 使用方法(操作順序)


  • 步驟1:電源連接:將電源線接入AC100V插座。

  • 步驟2:開啟電源:將電源部正面的“INTENSITY"旋鈕向右旋轉,聽到“咔噠"聲后電源接通,指示燈顯示“STANDING_BY"。

  • 步驟3:點亮燈泡:繼續緩慢向右旋轉“INTENSITY"旋鈕,燈泡將微亮并逐漸變亮。

  • 步驟4:調整亮度:通過“INTENSITY"旋鈕調節至所需亮度。

  • 步驟5:對焦:點亮后鏡筒會發熱,建議在低亮度下盡快完成對焦。

  • 步驟6:關閉電源:使用完畢后,先將開關撥回“STANDING_BY",等待3分鐘以上冷卻后,再將旋鈕向左旋轉到底切斷電源。


四、維護與消耗品


  • 燈泡壽命

    • 最高亮度下:約 50小時

    • 半亮度下:約 800小時

  • 延長壽命技巧:輝度與照射面積成反比。通過限制照射面積并僅調整至所需亮度,可顯著延長燈泡壽命。

  • 專用消耗品

    • 燈泡型號:UIH-1C專用 15V 150W 二向色鏡型鹵素燈(每箱10個)。

    • 保險絲:迷你型 5A(每包5個)。

該說明書詳細規范了UIH-1H型高精度照明設備的操作流程與安全紅線,特別強調了AC100V專用電源高溫防護關機后3分鐘強制冷卻等關鍵操作節點,對于保障設備壽命及用戶安全至關重要。
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