產品核心功能

• 模式靈活：支持單極與雙極兩種模式，通過前面板的三個開關（高壓開啟、放電、極性切換）即可輕松完成卡盤、放電、解卡操作。

• 控制多樣：既可通過前面板的模擬旋鈕進行手動控制，也配備了標準的外部控制和外部監控功能，支持外部接點信號和模擬電壓信號控制。

• 安全保護：內置自動保護電路，在發生短路或過載時，電流會自動下降并恢復，確保設備安全。

主要規格

• 輸入電壓：AC100V ±10%

• 輸出電壓：正極 0～+4kV / 負極 0～-4kV，電流均為 2mA

• 輸出穩定性：輸入/負載變動率 ≤±0.1%，紋波 ≤0.1%

• 監控顯示：前面板配備兩臺可切換的數字面板表，分別顯示正/負極的電壓和電流。

• 外部接口：通過一個16P端子臺提供高壓開啟、放電、極性切換、電壓監控及外部電壓控制等接口。

• 高壓輸出接口：采用耐壓 DC5kV 的 SHV 連接器。

• 外形尺寸：約 W480 × H149 × D430 mm

kocho 半導體 晶圓基板靜電卡盤用 高壓電源 ELESL-CK01，這是一款靜電卡盤專用的高壓電源單元，通過產生高壓靜電場來吸附和釋放物體。它主要用于半導體制造、平板顯示、精密光學等行業的晶圓或玻璃基板固定、層壓處理及材料剝離等工藝。

kocho 半導體 晶圓基板靜電卡盤用 高壓電源 ELESL-CK01，這是一款靜電卡盤專用的高壓電源單元，通過產生高壓靜電場來吸附和釋放物體。它主要用于半導體制造、平板顯示、精密光學等行業的晶圓或玻璃基板固定、層壓處理及材料剝離等工藝。