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環境與安全監測儀器
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日本nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置 SC系列 SC-3100 ●通過連接PC創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面（斜角部分）收集（采樣）微量金屬污染物。 SC-8100 ●具有即使在親水狀態的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導致表面變得粗糙的晶圓進行采樣。 SC-9100 ●具有即使在親水狀態的晶圓上也能收集污染物的功能
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