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Santec 晶圓幾何參數(shù)測(cè)量系統(tǒng) 厚度測(cè)量?jī)x TMS-2000 TMS-2000以非接觸方式測(cè)量晶圓的的厚度分布，可以測(cè)量精度為1nm的平整度。 當(dāng)在涉及極的端的溫度變化和振動(dòng)的不穩(wěn)定環(huán)境中使用時(shí)，傳統(tǒng)的晶圓厚度映射技術(shù)難以解決精度問(wèn)題，而TMS-2000具有高的環(huán)境穩(wěn)定性。由于其高速測(cè)量能力和緊湊的尺寸，TMS-2000可用于涉及在線檢測(cè)的各種工業(yè)領(lǐng)域。