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基于丁達爾現象的 UIH-3D 檢測燈:半導體晶圓與掩膜玻璃專用

更新時間:2026-02-28      瀏覽次數:95


1. 設備概述

UIH-3D 型超高亮度照明裝置(UIH Series)是株式會社 INTECS 生產的專業光學檢測設備。該裝置利用丁達爾現象(Tyndall Phenomenon),通過投射極的高亮度的光線,使微小的異物、氣泡或傷痕產生光散射,從而輔助用戶對半導體晶圓(Wafer)及光掩模玻璃(Mask Glass)等精密光學材料進行目視檢查。

2. 核心技術參數

UIH-3D 型號作為該系列的高功率版本,其具體技術規格如下:

項目規格參數
光源規格100V 650W
設計照射范圍鏡筒前端 270mm 處,直徑 φ100mm
最的高照度照射范圍中心約 300,000 勒克斯 (Lux)
500,000 勒克斯時的照射范圍約 φ80mm
倍徑距離與照度560mm 距離下,照度約 75,000 勒克斯
調光方式SCR 控制(支持 50/60Hz 自動切換)
冷卻與保護風扇強制空冷,具備發熱監控與冷卻保持功能
電源要求AC100V 半變壓器式 (Semi-transformer type)
外形尺寸/重量約 13kg









3. 運行特性與安全機制

  • 亮度調節:具備 10:1 以上的可變寬度,最的高亮度偏差控制在上限 10%、下限 20%。

  • 燈泡壽命:

    • 最的高亮度下壽命:75 小時以上。

    • 半亮度下壽命:1800 小時以上。

  • 安全保護功能:

    • 發熱監控:當燈泡室內部溫度超過約 130℃ 時,系統會強制熄燈。

    • 冷卻保持:主電源關閉后,風扇會持續運行,直到燈泡室溫度降至約 40℃ 以下,以保護設備。

4. 總結

UIH-3D 作為 UIH 系列的高功率型號,通過 650W 的光源輸出,能夠提供更大的照射面積(設計照射徑 φ100mm)和更長的半亮度壽命(1800小時)。其配備的自動頻率切換和完善的過熱保護機制,使其適合在對潔凈度和安全性有較高要求的半導體 Wafer 及 Mask Glass 生產環境中,進行大范圍的表面與內部缺陷目視檢測。

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